基底温度对α-C：H膜微观结构的影响-中国期刊网

摘要使用RF-PECVD法分别在基底温度为60℃、120℃和200℃的N型单晶锗表面制备了α-C：H膜,采用拉曼光谱、傅里叶变换红外吸收光谱和原子力显微镜等技术手段研究分析了α-C：H膜的价键组成及表面形貌,讨论了基底温度对α-C：H膜微结构及部分性能的影响。结果表明,在α-C：H膜沉积过程中,基底温度对膜层微观结构有较大影响,基底温度60℃时,膜层表面光滑、致密无石墨化现象。随着基底温度的升高,α-C：H膜中含H量和微晶石墨量逐渐增多,α-C：H膜层性能也逐步退化。

1彭述辉 ;肖晓荣 ;陈雪娇 ;黄菊青. 温度对涂膜柑橘果实品质的影响.农产品加工,2005-05.
2冯霞;郭艳芬;赵义平;李建新;陈熙;贺晓凌;陈莉. 凝固浴温度对PVDF—g—PNIPAAm温度敏感膜成膜过程与性能的影响.材料科学与工程,2013-01.
3第一作者刘冬1通讯作者张鹏杰1 孙威1 胡国辉1 王倩1 李青华1 刘颖力2 鲜聪3 马嵩4. 烧结温度对W型铁氧体吸收剂微观结构及电磁性能的影响.矿井建设,2024-11.
4刘慧慧. 温度对工程结构的影响分析.建筑设计及理论,2019-11.
5刘慧慧. 温度对工程结构的影响分析.建筑设计及理论,2019-11.
6通晨娇. 浅谈温度对工程结构的影响.市政工程,2020-10.
7成飞. 温度对工程结构的影响研究.工程地质学,2020-12.
8杨博文. 浅论温度对工程结构的影响.工程地质学,2020-11.
9王远彬1,王水艺2. 温度对工程结构的影响分析.建筑设计及理论,2022-05.
10刘友明. 干燥对稻谷籽粒微观结构的影响研究.食品科学与工程,2004-12.

基底温度对α-C：H膜微观结构的影响

来源期刊

相关推荐

同分类资源更多

相关关键词

基底温度对α-C：H膜微观结构的影响

来源期刊

相关推荐

同分类资源 更多

相关关键词

同分类资源更多