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我国首条200 mm硅单晶抛光片生产线通过验收

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摘要 <正>我国首条可满足0.25μm线宽IC需求的200mm(8英寸)硅单晶抛光片生产线——硅单晶抛光片高技术产业化示范工程日前通过整体验收。业内人士认为,200mm硅单晶抛光片示范工程项目,可在一定程度上满足

DOI 2d39ro8gd9/1563819

作者刘广荣

机构地区不详

出处《半导体信息》 2005年3期

关键词抛光片硅单晶 MM 示范工程项目技术产业化线宽

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2005年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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