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闭环硅微加速度计非线性补偿

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摘要为了降低闭环硅微加速度计的非线性,分析了其主要误差源并提出了相应的补偿方法。首先,分析了闭环状态下检测质量块偏离几何中心位置所造成的非线性问题,并确定了电路零位是主要误差源;其次,利用闭环反馈控制进行了非线性的优化分析;最后,提出了非线性补偿的工程调试方法。离心试验结果表明,采用该调试方法可将加速度计的非线性减小一个数量级以上。该结果验证了非线性误差分析和补偿方法的有效性,且适用于同批次加工的其它加速度计。

DOI pj09y118jy/1645675

作者肖鹏;刘林;王小斌;孙俊杰;余才佳

机构地区不详

出处《中国惯性技术学报》 2016年3期

关键词加速度计闭环模式反馈控制非线性补偿

分类 [理学][力学]

出版日期 2016年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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中国惯性技术学报

2016年3期

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