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重庆液晶面板低成本光刻工艺取得突破

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摘要中国科学院重庆绿色智能技术研究院近日成功研制了用于微电子光刻的“2～12英寸UVLED平行光曝光模组”及用于PCB、液晶面板和触摸屏等光刻装备的“5kW、8kW、10kW汞灯替代UVLED光源模组”系列产品。

DOI 7dm1wpgvdn/1700854

作者

机构地区不详

出处《新材料产业》 2017年2期

关键词光刻工艺液晶面板重庆低成本光源模组中国科学院

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2017年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

新材料产业

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