YAG雷射技术制备微流道的研究-中国期刊网

摘要用YAG雷射表面处理技术在硅芯片上制备微流道,并分析频率、电流强度及扫描速度对于微流道宽度、深度、热影响区及表面粗糙度之影响。实验结果显示：光斑大小随着频率的增加而减少,但却随着电流强度的增加而增加;微流道宽度则直接决定于光斑之大小;微流道深度及表面粗糙度皆受到频率、电流强度及扫描速度三种制程参数影响;而微流道热影响区在各制程参数下,其影响的变化差异并不明显。研究中当扫描速度10mm/s、电度10A及频率1KHz为最佳制程参数。

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