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半导体制造中MES系统优化设计应用

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摘要摘要文章以半导体制造中MES系统优化设计应用为研究对象，首先对MES系统与半导体制造行业进行了分析，随后探讨了基于PDA的移动MES系统提出与设计实现，最后对移动MES实际应用与应用效益进行了分析，以供参考。

DOI lj15pyg5dv/2854568

作者蔡轲

机构地区广东深圳518000

出处《防护工程》 2019年10期

关键词移动MES系统 5G 半导体制造

分类 [文化科学][]

出版日期 2019年10月20日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

防护工程

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