基于TiN类膜制备工艺的研究

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摘要 摘要硬质TiC、TiN、Ti(CN)薄膜因具有相似的性质,故合称为TiN类薄膜。TiN类薄膜因具有高强度、高硬度、化学稳定性好、耐磨及防腐蚀等一系列优点,其涂层被广泛作用于机械工业中的刀具、模具等表面,成为具有巨大应用前景的涂层材料。TiN类陶瓷膜由于其独特的性能而成为当前材料表面研究热点之一。文章简要介绍了利用化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)、双辉技术及其它表面处理技术制备TiN类膜的研究进展,讨论了各种制备方法的工艺特点。
出处 《基层建设》 2016年23期
出版日期 2016年12月22日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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