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直拉硅单晶生长过程建模与控制研究综述

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摘要摘要本文主要针对直拉硅单晶生长过程进行分析，简述了直拉硅单晶生长过程的数学模型，进而分析了如何更好的控制直拉硅单晶生长的过程，针对其缺陷进行了探讨，提出了控制的方法。

DOI 3j7zg5z5d1/4279405

作者李立峰

机构地区 (新特能源股份有限公司新疆乌鲁木齐830011)

出处《电力设备》 2018年4期

关键词直拉硅单晶，生长，控制

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2018年04月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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直拉硅单晶，生长，控制

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