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多晶硅生产的节能降耗研究

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摘要摘要随着科学技术不断发展，多晶硅应用范围也是不断的扩大，不仅能够在集成电路合成、太阳能装置制造和半导体的制备方面得到广泛应用，还可以用来制造单晶硅。但是就实际应用情况进行分析，多晶硅在化工领域的应用与国外先进国家相比，有着较大的差距，在实际加工中出现一些环境污染的问题。下面就基于作者实际工作经验，简要的分析多晶硅生产的节能降耗，希望对相关从业人员有所帮助。

DOI 5jo0y293jv/4286136

作者刘贺军

机构地区天津市环欧半导体材料技术有限公司天津300380

出处《基层建设》 2019年20期

关键词多晶硅生产工艺节能降耗

分类 [建筑科学][建筑设计及理论]

出版日期 2019年11月02日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）