摘要
摘要压力传感器广泛应用于各种现代工业生产中，对于在机车、冶金、石油化工、动力机械、航空航天等工程领域应用的传感器来讲，研究高可靠性及耐高温的压力传感器具有重要的实际意义。例如航空发动机进出口油压测量，发动机燃烧室气体压力测量、汽车发动机用机油压力测量、增压热燃气喷口压力测量时，一旦传感器失效或者泄漏，不仅会造成测量输出异常，甚至会造成人员伤亡。目前，工业上常见的压力传感器芯片为扩散硅原理，压敏电阻和衬底通过ＰＮ结电隔离，当工作温度超过１２０℃时硅材料本征激发ＰＮ结会反向导电，所以不能在高于１２０℃的环境下进行压力测量，传感器敏感元件的安装结构通常为Ｏ型密封圈“悬浮”结构，存在泄露隐患。针对某工程领域实际需求，提出了一种高可靠性压力传感器的设计方法，传感器芯片采用扩散硅原理，具有优良的高温性能，敏感元件通过电子束焊接连接，输出信号还将进行温度补偿。最后经过环境试验证明，该产品的可靠性和性能指标可以满足工程要求。
出版日期
2018年05月15日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
