摘要
【 摘 要】： 在现阶段的工业领域中，多晶硅的生产制造手段多种多样，其中主要使用的制造手段有：冶金法、硅烷法以及改良西门子法等，在制造的过程中改良西门子法利用最为普遍。因为改良西门子法具有资金利用程度低、能耗低以及生产出的多晶硅品质高、整体利用技术水准高等突出优点。紧跟着当前多晶硅产品生产数目的逐渐增多，资金利用程度的降低以及品质的提升已然变成企业发展的基础条件。而国外的多晶硅品质通常都是电子一级品，多晶硅内部杂质浓度较低，而且产品的质量分布较为均匀，所以，我国的生产企业正在面临着质量发展的难度，这就需要我国要持续研究多晶硅生产过程中的质量管理手段，进而在一定程度上提升我国多晶硅的生产品质以及促进我国生产制造行业的发展。
出版日期
2020年06月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
