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半导体芯片电路线宽显微测量精度分析

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摘要摘要：当今社会，随着集成电路制造业的不断发展，半导体芯片工作速度越来越快、集成度越来越高、电路线宽越来越小，传统的测量技术已很难完成对芯片尺寸的高精度、高效率的测量。基于图像处理的测量技术就是将数字图像处理技术应用到精密测量领域。

DOI n499xvx34y/5134159

作者张学涛

机构地区身份证号码：23233019790712**** 天津市 300384

出处《当代电力文化》 2021年02期

关键词半导体芯片电路线宽显微测量精度

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2021年04月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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