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浅谈对我国光掩膜板的应用与研究

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摘要摘要：光掩膜板一般也称光罩，是微电子制造中光刻工艺所使用的图形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形，并通过曝光将图形转印到产品基板上。

DOI lj1090v24v/5248020

作者漆海清

机构地区国家知识产权局专利局专利审查协作广东中心

出处《科学与技术》 2021年6期

关键词光掩膜板应用与研究

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2021年06月07日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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