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光敏聚酰亚胺的研究与应用进展

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摘要摘要：光敏聚酰亚胺作为一种十分优质的高分子材料，其被广泛用于微电子领域的绝缘层与保护层。在非光敏聚酰亚胺应用中，图形加工实施十分困难，而光敏聚酰亚胺的图形光刻工艺十分容易，这就引起聚酰亚胺应用领域的广泛重视。本文主要对光敏聚酰亚胺的研究和应用进行分析。

DOI 3j770pevj1/5316953

作者陈存浩

机构地区波米科技有限公司山东省聊城市 252300

出处《科学与技术》 2021年8期

关键词光敏聚酰亚胺研究应用

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2021年07月06日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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