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屏蔽泵在多晶硅生产中的故障分析及改进措施

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摘要摘要：多晶硅是信息产业和太阳能光伏发电产业的关键原材料，全球多晶硅产业化生产工艺有三氯氢硅氢还原法(又称改良西门子法)和硅烷流化床法两种工艺，前者占世界总产能的95%，是多晶硅生产的主流工艺。多晶硅生产属于典型的化工过程，生产过程的物料涉及四氯化硅、三氯氢硅、二氯二氢硅等氯硅烷工艺介质和导热油、氟利昂等公用工程介质，大部分属于易燃、易爆、有毒、有害介质，故在此类物料的输送过程中一般选用屏蔽泵，以保证物料的零泄漏，避免造成生产事故及环保问题。

DOI 54y11oy940/5542876

作者杨智东

机构地区新特能源股份有限公司新疆乌鲁木齐市 830000

出处《科学与技术》 2021年15期

关键词屏蔽泵多晶硅故障分析

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2021年09月30日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）