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数字全息干涉术用于电路板弯曲形变的研究

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摘要摘要: 电路板的弯曲与变形测量，一直是机械工程领域中的重点问题。传统的物体形状测量方法准确度往往不高，且方法繁琐，但是通过运用数字或全息干涉的方式检测具有敏感度较高，装置简便，无损伤待测物等优势，已在电子工程上被普遍使用，特别是在检测电路板的弯曲变化等方面具有优越性。随着电子图像器件与计算机的不断发展提高，全息摄影干涉技术又步入了一个全新的历史阶断。本文中利用采用菲涅耳数字全息干涉术，进行了对集成电路板表面的连续扭曲变形检测。

DOI 6jr8172w45/5645487

作者尤东妹

机构地区中国电子科技集团公司第三十八研究所

出处《科学与技术》 2021年18期

关键词数字全息干涉术菲涅耳全息术电路板弯曲形变

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2021年11月17日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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科学与技术

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