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一种能够多片印刷的网板及SHIM板解析

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摘要摘要：一种能够多片印刷的网板及SHIM板，包括真空吸盘，所述真空吸盘的外壁四角均分布有四个限位角块，所述真空吸盘的顶部设置有第一垫片，所述第一垫片上设置有便于固定第二垫片的定位机构。该能够多片印刷的网板及SHIM板，将刷胶钢网板上的放置槽扩大，1：1复制另一个相同的放置槽，使两个放置槽的平边相切，同时第二垫片上的放置槽必须按照钢网上的放置槽外形尺寸及位置完全对应，在印刷机设备条件允许的情况下，可将此设计增加至个放置槽，个放置槽甚至更多，这样晶圆印刷机从一次刮刀涂覆每次仅能生产一片晶圆，扩展到一次两片甚至多片，极大的增加了生产效率，节约了人力资源和成本。

DOI g4q9z517j8/6747972

作者杨珮艺

机构地区上海纪元微科电子有限公司

出处《科学与技术》 2022年18期

关键词多片印刷网板 SHIM板性能解析

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2023年01月07日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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