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自控系统在洁净室空调系统中的应用研究
自控系统在洁净室空调系统中的应用研究
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摘要
摘 要:在半导体洁净厂房中,工艺生产设备,包括光刻机、蚀刻机、离子注入机以及其他相关生产设备等等,对环境条件,包括洁净室的温湿度、房间微差压以及洁净度等空气指标均有较高的要求。本文针对上述空气指标,对半导体厂房的洁净空调自控系统的组成、洁净新风空调机组的监视和控制,洁净室内的温湿度及压力控制,风机过滤单元的群控等进行详细介绍。旨在分析自控系统在洁净室空调系统中的应用及其重要性。
DOI
wjvgq0lwj7/7165926
作者
冷雪云
机构地区
霍铧德科技(上海)有限公司 上海 200041
出处
《建筑实践》
2023年4期
关键词
洁净空调系统
自控系统
温湿度控制
压力控制
FFU群控
分类
[文化科学][]
出版日期
2023年05月25日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
建筑实践
2023年4期
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