自控系统在洁净室空调系统中的应用研究

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摘要 摘 要:在半导体洁净厂房中,工艺生产设备,包括光刻机、蚀刻机、离子注入机以及其他相关生产设备等等,对环境条件,包括洁净室的温湿度、房间微差压以及洁净度等空气指标均有较高的要求。本文针对上述空气指标,对半导体厂房的洁净空调自控系统的组成、洁净新风空调机组的监视和控制,洁净室内的温湿度及压力控制,风机过滤单元的群控等进行详细介绍。旨在分析自控系统在洁净室空调系统中的应用及其重要性。
出处 《建筑实践》 2023年4期
出版日期 2023年05月25日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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