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芯片生产过程中的特气处理自动控制设计

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摘要摘要：自控系统是保证锅炉运行安全和方便操作的关键。特种气体的燃烧过程的自控系统，以S7-1500 PLC为核心，重点对其进行了燃烧过程的安全控制。本文对特气的危害与燃烧处理自动控制系统进行了介绍，并对其中涉及到的燃烧串的设计、点火程序设计、硬件与程序的安全控制、报警程序设计、运维手动及刮刀程序设计、以及S7-1500控制系统为主的硬件及程序设计进行了详细的说明。

DOI ojzrzw9zd5/7393470

作者万江波杨帅

机构地区世纪万安科技（北京）有限公司

出处《科技新时代》 2023年7期

关键词特气处理 S7-1500控制系统燃烧安全控制自动控制

分类 [机械工程][]

出版日期 2023年07月24日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）