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产品多晶硅的氧化夹层原因和预防措施

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摘要摘要：在多晶硅还原生产中，由于杂质（主要为水或者空气）的引入，导致正在生长的硅芯或者小硅棒表面发生了氧化反应，形成氧化夹层。本文针对实际生产过程操作中氧化夹层产生的原因，提出了从管理和操作上减少直至消除氧化夹层的办法。

DOI rdxnk3e1jl/7598601

作者赵云浩

机构地区内蒙古新特硅材料有限公司

出处《中国电业与能源》 2023年11期

关键词多晶硅氧化夹层操作硅芯

分类 [经济管理][产业经济]

出版日期 2023年09月22日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）