首页 > 论文中心 > 半导体工艺设备污染控制分析

半导体工艺设备污染控制分析

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要摘要：半导体被誉为制造行业的皇冠上的珍珠，在整个信息技术行业中，它是一种战略性、基础性和先导性的行业，它的技术水准和发展规模已经变成了一个国家的工业竞争能力和综合国力的主要指标。对半导体装置的沾染的控制，会对半导体前道制程的先进程度有很大的影响。在这个方面，本文将与大家一起分享关于半导体设备污染的原因以及如何进行处理的办法。

DOI zdlkz6w8jl/7753816

作者康昌武

机构地区 321123198102237319

出处《未知》未知

关键词半导体设备工艺污染控制

分类 [][]

出版日期 2023年11月01日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

相关文献

1孙元斌，邓岗. 半导体工艺设备污染控制.,2023-04.
2谭贤君. 半导体工艺设备中的加热装置及半导体工艺设备.建筑技术科学,2024-07.
3缪起点. 探究半导体工艺设备维修中的风险辨识与管理策略.工程地质学,2024-04.
4余廷义. 半导体设备维修分析.建筑设计及理论,2015-12.
5徐择君. 半导体设备维修分析.市政工程,2023-03.
6汪彪周营秋谢安强樊荣飞唐健伟. 半导体工艺测试设备应用技术探究.物理电子学,2018-10.
7许亚兵. 半导体设备工艺配方管理系统研究.建筑科学,2023-12.
8许亚兵. 半导体设备工艺配方管理系统研究.建筑科学,2023-12.
9蔡钦洪,蔡荣洪. 半导体封装工艺的研究分析.,2023-01.
10蔡钦洪,蔡荣洪. 半导体封装工艺的研究分析.,2023-02.

半导体工艺设备污染控制分析

相关推荐

同分类资源更多

相关关键词

半导体工艺设备污染控制分析

相关推荐

同分类资源 更多

相关关键词

同分类资源更多