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关于硅烷法制备多晶硅工艺研究

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摘要摘要：多晶硅作为光伏太阳能电池与集成电路关键材料，一直以来其生产就备受关注，投入了大量资源进行研究，争取不断提高其生产综合效益本文对硅烷法制备多晶硅的几种工艺进行了综述，对多晶硅生产工艺做出介绍，尤其是对硅烷的制备方法做了全面的探讨。比如Komatsu硅化镁法、碱金属氢化物中的硅烷法和歧化法。虽然方法很多，但仍有需要完善的地方。

DOI 5jo239w9z4/8039360

作者夏永杰

机构地区内蒙古通威高纯晶硅有限公司内蒙古包头市昆都仑区 014010

出处《中国科技信息》 2024年1期

关键词硅烷法多晶硅制备生产工艺

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2024年03月07日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）