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加热器对分子束外延装置生长薄膜的影响与优化研究

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摘要摘要：本文研究了加热器对分子束外延装置生长薄膜的影响与优化方法。探讨了加热器参数对薄膜生长过程中的温度分布、薄膜质量和结晶性能的影响。在此基础上，提出了一些优化加热器参数的策略，以改善薄膜的生长质量和性能。

DOI 7j6v17rx7d/8051742

作者张晓宇黄成

机构地区 1：210122198812284512，辽宁沈阳 110000

出处《城镇建设》 2024年1期

关键词加热器分子束外延薄膜生长优化结晶性能

分类 [建筑科学][市政工程]

出版日期 2024年03月08日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

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