半导体排气系统的设计与研究

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摘要 摘要: 随着半导体行业的快速发展,半导体制造过程中的排气问题日益受到关注。二次配排气系统作为半导体厂房排气系统的重要组成部分,对于保证半导体生产环境的洁净度和工艺设备的正常运行具有关键作用。本文详细探讨了半导体二次配排气系统的设计原理、关键技术、系统组成以及运行管理,通过对实际案例的分析,阐述了该系统在提高半导体生产效率和产品质量方面的重要性。
出处 《工程建设标准化》 2024年14期
出版日期 2024年11月04日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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