首页 > 《纳米科技》 > 2010年3期 > 微型传感器在汽车工程中的应用

微型传感器在汽车工程中的应用

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要近几年来,从半导体集成电路（IC）技术发展而来的微机电系统（microelectromechnicalsystem,MEMS）技术日渐成熟。微型传感器是目前最为成功并最具实用性的微型机电器件,主要包括利用微型膜片的机械形变产生电信号输出的微型压力传感器和微型加速度传感器;此外,还有微型温度传感器、磁场传感器、气体传感器等,这些微型传感器的面积大多在1mm2以下。

DOI 7dmo51xojn/887906

作者

机构地区不详

出处《纳米科技》 2010年3期

关键词微型传感器汽车工程微型加速度传感器半导体集成电路微型压力传感器微型温度传感器

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2010年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）