简介:介绍了作为光交叉连接设备(OXC)的三雏微电子机械系统(MEMS)总体结构以及微反射镜角度偏转的物理原理,然后着重讨论了基于三维MEMS的物理结构参数设计和驱动电压参数设计。
三维微电子机械系统结构分析与设计