简介：摘要：半导体光电子器件正呈现高速率、集成化的趋势，本文提出一种新型紧凑型高速光电二极管芯片，传输速率可达到10G/s，相对传统芯片结构，尺寸缩小近1/3，不仅可减小占用器件封装的空间尺寸，利于光器件的封装集成化和便利性，而且使得同一尺寸的外延片，产出更多数量的芯片，从而大大提高芯片的良率和大幅度降低芯片的成本。
一种新型紧凑型高速光电二极管芯片
