简介：摘要随着工业4.0时代的到来，在工业控制中，高精度运动控制作为现代高端制造业中的关键技术，全球广泛应用于高端制造机床、芯片制造设备、机器人等高科技机械系统中，特别对芯片制造产业和高端机床设备等装备技术分析，对运动机构的高速、高加速度和高精度的运动控制平台技术研究具有重要实践意义。
简介：摘要德国工业4.0和我国2025智能制造的到来，在工业控制中，高精度运动控制作为现代高端制造业中的关键技术，全球广泛应用于高端数控机床、高端芯片制造设备、智能机器人等高科技领域中，特别智能对芯片制造产业和高端数控机床等装备技术分析，对运动平台的高速、高加速度和高精度的运动控制平台技术实证研究具有重要实践意义。
基于直线电机驱动精密运动控制技术实践研究
高端装备精密运动平台实证分析研究刘正平
