简介：摘要：针对现有清晰度评价函数稳定性、精度不足，且易受噪声干扰等问题，提出一种基于最大类间方差和 Canny算子 的晶圆图像清晰度评价算法。对最大类间方差算法分割出的前景图像，使用Canny算子进行边缘检测。 统计边缘点的个数和梯度幅值，并计算子图像的边缘点梯度幅值方差，以构建清晰度评价函数。实验结果表明，提出的算法具有较好的灵敏度、稳定性和抗噪性。
基于最大类间方差和 Canny算子 的晶圆图像清晰度评价算法
