简介：摘要：在现代科技的快速发展中，微型机电系统（MEMS）加速度传感器因其微小体积、高灵敏度及低能耗等特点，广泛应用于智能手机、自动驾驶、航空航天等领域。然而，随着应用场景的日益复杂，MEMS加速度传感器在复杂应力环境下容易出现失效问题，这给相关应用带来了极大的挑战。因此，本文将对MEMS加速度传感器在复杂应力下的失效问题进行深入的分析，并提出相应的可靠性提升策略。
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