简介：摘要针对酸腐蚀过程中不同腐蚀去除量以及硅片的不同转速，探究抛光后SFQR的变化，同时，对酸腐蚀处理后的表面形貌进行了对比分析，研究不同的腐蚀类型对抛光后SFQR的影响。
酸腐蚀对抛光片SFQR的影响
