简介:摘要:通过对线轮廓检测设备存在的偏差类型以及出现原因分析,提出了科学有效的检测设备线轮廓偏差校准方式。此偏差和校准方法充分利用小二乘判定标准,结合广义矩阵求解线性方程组的方式,将获得的校准值输入到检测系统中,对检测设备存在的偏差进行校准分析。通过对此校准方法的实践分析,并结合具体的测量工件,证实了检测设备的测量值与参考值存在的误差显著降低,有效提高了测量的精准要求,证明此校准方法具有有效性且已经进行了推广应用。
线轮廓检测设备偏差校准方法浅谈