简介:类金刚石(diamond—likecarbon)涂层是含有大量SP3键亚稳态的非晶碳,它的结构中SP2和SP3键比例在很大范围内变化。SP3键含量高(〉70%)的DLC涂层有许多和金刚石涂层相似的性能。DLC涂层的制备工艺简单、沉积面积大,涂层面平整光滑,工艺比较成熟,因而已经在许多领域得到应用。
类金刚石DLC涂层