简介:给出了用于微电子化剂量仪的半导体探测器的剂量特性,研究工作表明:该探测器可以和微电子化电路结合,并在常温低偏压(1-3V)下工作,且其灵敏度可在68-316cps/(R/h)之间变化,对微电子化剂量仪中电子线路的设计,奠定了基础。
用于微电子化剂量仪的半导体探测器特性研究