简介：摘要：在柔性聚合物基底表面制作金属薄膜形成纳米裂纹，并在纳米裂纹上制作应变传感器，能够有效控制纳米裂纹生成图形，提高应变传感器的使用性能。本文分析了硅模具、纳米裂纹及其应变传感器制作流程，并讨论薄膜材料设计、纳米裂纹控制效果与应变传感器性能，期望对促进纳米裂纹制造技术发展有所帮助。
基于硅模具制作的纳米裂纹及应变传感器探究
