简介：神光Ⅲ原型装置运行过程中空间滤波器和终端光学组件保持在10^-3Pa的真空条件下，其中使用的各种润滑脂和密封圈中的有机物饱和蒸气压浓度和自由程增大，造成膜层污染。光学元件表面膜层在污染后性能退化，对装置激光通量、能量效率、运行稳定性和可靠性均会产生严重影响。
原型装置真空系统光学元件的污染过程及控制
