简介：摘要本文对静电斥力驱动器最大旋转行程进行建模，推导出了产生最大转矩的指端宽度和旋转角度。以此设计指端宽度这项重要结构参数，以实现对于一个给定的物理参数，如驱动器的宽度W和长度L，悬架弹簧的转动刚度和驱动电压V，使驱动器能达到最大旋转行程。
简介：摘要模拟器对体积有严格要求限定，为了进一步推动模拟器平视显示系统集成，必须提出新的方法来产生静电MEMS驱动器所需的高电压，以满足模拟器平显系统的体积和功率要求。在这种情况下，本文提出了一种增强型拓扑结构耦合电感，它可以将3.7V的电池电压转换为150V到300V的输出电压，适用于便携式应用中静电驱动MEMS的输入电压。
MEMS反射镜静电斥力致动器结构参数设计
MEMS反射镜中的增强型拓扑结构耦合电感
