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FMEA在抛光设备维修管理中的应用

作者：陈达
学科：
创建时间：2023-04-17
出处：《新视线·建筑与电力》 2023年第1期
机构：（中环领先半导体材料有限公司，江苏宜兴 214200）

简介：摘要：FMEA(Failure Mode and Effect Analysis,失效模式和影响分析)是一种用来确定潜在失效模式及其原因的分析方法[1]。本文结合了对NACHI不二越SPM23抛光设备在近几年的维修和管理，以实际事例说明了失效模式和影响分析对抛光设备进行风险评估的流程，较为详尽的阐述了FMEA的概念及FMEA在设备管理中的具体应用。
标签：设备管理失效模式影响分析抛光设备

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