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Combustion Synthesis of SiO2 on the Aluminum Plate

作者： C.L.Yeh;E.Zhao;等
学科：理学 > 物理
创建时间：2001-01-11
出处：《热科学学报：英文版》 2001年第1期

简介：TheapproachofutilizingcombustionsynthesistomakefineparticlesofSiO2,Al2O3andTiO2isaquitemoderntechnology.Throughthechemicalreactioninpost-flameregion,fineSiO2particlescanbeformedwithhighpurityonplatesurface.Therefore,thecombustionsynthesisofSiO2powdersisanimportantareaforfurtherresearchanddevelopment,especiallyfortheapplicationofSiO2inthesemiconductorindustry.Thisinvestigationproposesanexperimentalapproach(i.e.,agas-phasecombustionsynthesis)usingtwodifferentkindsoforganiccompounds,Hexamethyldisilazane(HMDSA)andHexamethyldisioxane(HMDSO),asthesiliconprecursors.ApremixedgasburnerischosenwithC3H8asfuel,airasoxidantandpartoftheairwasusedasthecarryinggastoentrainHMDSA/HMDSOvaporintothecombustiblemixture.ObservationsshowthattheC3H8/airflamechangedcolorfromapale-blueflametolightyellowandthenorangewhendifferentamountsofprecursorswereintroduced.Throughthechemicalreactioninthepost-flameregion,fineSiO2particleswereformedinthegasphaseandthenquenchedandcollectedonanaluminumflatplate.TheobjectiveofthispaperistostudytheeffectsofHMDSOandHMDSAconcentrationsandflametemperaturesonthesynthesisofSiO2particles.
标签： SIO2 燃烧合成铝板 HMDSA HMDSO

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