简介:首先介绍了多晶电阻在线监控和工艺控制模块(PCM)监控的两种方法:四探针法和范德堡法,并解决了四探针法在线监控方法多晶电阻波动大的问题;针对生产过程中遇到的多晶电阻偏小问题,通过扫描电镜分析发现多晶晶粒明显偏大,通过对多晶淀积速率的分析确定多晶速率越小,多晶淀积晶粒越大,根据多晶导电理论可知多晶晶粒大,晶粒间界变小,晶粒间界杂质俘获变少,多晶掺杂浓度转化为载流子的比例变高,因此多晶电阻变小。最后根据工程实践列举了影响多晶淀积速率的两大主要因素为多晶淀积温度和多晶炉管维护次数,为保证多晶淀积速率稳定,多晶炉管维护次数尽量少于6次,同时需要对多晶淀积温度进行控制。
简介:摘要随着社会发展的迅猛趋势,交通运输业越来越发达,城市中的交通方式多种多样,由于各种私家车及公交车等车辆过多导致经常会有堵车现象,这造成了人们出行方便的同时还会有速度的限制,所以合理利用空间,把地铁,公交车,出租车联系起来形成一个无缝连接的交通运输网。通过各种交通方式形成一种立体的交通枢纽,大大方便了人们的出行。在轨道交通的施工过程中,由于施工单位未对施工工程整体进行统筹安排,导致出现赶工期的现象。这种现象一方面会导致轨道的设备不能正常的运行。如果出现故障就会使列车运行的秩序混乱,严重的会出现运营中断,不仅给人们的出行带来了不便,而且严重影响了轨道交通的安全运行;另一方面会增加运营管理的安全风险。