简介:摘要:伴随着摩尔定律的发展,集成电路(以下简称IC)的发展经历了从小规模集成电路(SSI)、中规模集成电路(MSI)、大规模集成电路(LSI)、甚大规模集成电路(VLSI) 直至今天的超大规模集成电路(ULSI)、巨大规模集成电路(GSI)。根据国际半导体技术路线图(ITRS)的规定,集成电路工艺水平是通过技术节点来衡量。技术节点通常以晶体管的半节距 (half-pitch) 或栅极长度(gatelength)等特征尺寸(CD,critical dimension)来表示 。在进入 ULSI 时代以后,横向空间的饱和,促使 IC 制造向垂直空间发展;向垂直空间发展的思路促使多层金属互连技术的出现。而多层金属互连技术的出现导致 IC 制造过程中不可避免的在层与层之间产生台阶,层数越多表面起伏愈加明显。明显的表面起伏主要有两方面的影响产生,一方面金属布线中容易导致断线、短路、断路,另一方面导致光刻时对线宽失去控制。
简介:摘要:近年来,在现代科学技术不断发展的背景下,各种新技术的研发难度和研发成本都在不断增加。而各个组织机构都需要在这一过程中考虑如何将现有的有限资源进行集中将其应用于最具有价值的领域中。技术预见是解决这一问题的重要途径,并且受到了相关工作人员的高度重视。专利文献囊括了全世界范围内每年大约90%~95%的科研成果,其中同时还包含创新意图以及技术发展等相关的内容。而进行有效的技术评估和技术预见是相关工作人员特别重视的一项重要内容。在现代大数据技术不断发展的背景下,工作人员需要依托专利大数据进行挖掘,选择一种更有效的基于专利挖掘的技术预见方法,使科研成果能够得到高效地转化,使新技术的研发效能逐步提高。
简介:摘要 本文梳理了圆盘式碾磨机的历史发展状况,结合专利分析对圆盘式碾磨机的国内外发展现状、核心技术以及应用现状进行归纳,主要从专利的申请时间、申请地域、主要申请人、重要专利等方面进行统计分析,并据此对圆盘式碾磨机未来的研究热点及发展趋势作出预判。