简介:高精度坐标测量机单轴测量不确定度U95一般约为0.6μm,加上导轨直线度误差,则坐标测量机对平行度、平面度测量的扩展不确定度U95约在1μm。等厚干涉仪可解决高精度的平面度测量问题(如平晶的检定),但平行度却缺乏更高精度的测量方法,并且当测量须针对零件端面上的特定点位时,等厚干涉仪也无能为力。而在高精度圆度仪上,不需改动任何硬件和软件可以解决上述问题。圆度仪对圆端面平面度和平行度的测量是可通过工作台主轴旋转的圆周运动和横臂带动测头的径向运动来实现,测量数据点位呈几个同心圆分布。由于为了实现圆度仪上的多圈采点测量,必须在工件端面径向移动测头,这就将圆度仪横臂导轨的直线度和相对于主轴的不垂直度带入了平面度和平行度的测量中,使得这两项误差直接影响到最终的测量结果,因此必须加以修正。
简介:为了满足高精度相机在外场环境下的检测要求,采用碳化硅光学材料制作反射镜,碳纤/环氧树脂基复合材料制作遮光筒,设计了一套重量轻、自身精度高、温度稳定性好的离轴平行光管。在二者线胀系数保持二倍关系的情况下,在一定温变范围内保持精度的稳定性。经检测,口径为400mm,焦距为8m的离轴平行光管的温变为(20±10)℃,系统波像差为1/5λ(P-V值,λ=632.8nm)和1/27λ(RMS值),达到了设计要求,能够在外场环境下使用。