简介:采用HSiCl3—NH3—N2(稀释气体)体系在石英陶瓷基板上通过低压化学气相沉积(LPCVD)法沉积出了Si3N4涂层,研究了工艺条件对涂层沉积速率的影响。结果表明,在没有稀释气体的情况下,随着沉积温度升高,Si3N4涂层的沉积速率逐渐增加,在850℃附近达到最大值,随着反应温度的进一步升高,涂层沉积速率下降。当存在稀释气体时,在所选温度范围内随着沉积温度的升高,Si3N4涂层的沉积速率一直增大,反应的表观活化能约为222kJ/mol。随着原料中NH3/HSiCl3流量比值的增大,Si3N4涂层的沉积速率逐渐增加,随后稳定,但稍有下降趋势。在所选稀释气体流量范围内,Si3N4涂层的沉积速率随着稀释气体流量的增加而增大。
简介:本文设计和考察了含有胺基苯并咪唑/苯并噻唑化合物和不同烷基长度脂肪酸的双元有机凝胶在多种有机溶剂中的凝胶行为.在20种溶剂中的凝胶性能测试结果表明是新型双元有机胶凝剂.实验结果表明,取代烷基链的长度以及苯并咪唑/苯并噻唑部分在调控多种有机溶剂中的胶凝剂性能方面起着关键的作用.形貌研究揭示这些凝胶分子随着溶剂的改变自组装形成不同的聚集体,如褶皱、片状、带状、点状等.光谱研究表明依赖于苯并咪唑/苯并噻唑部分以及分子骨架中的烷基取代链,凝胶中存在不同的氮键和疏水作用力.此外,由于烷基取代链的长度不同,这些有机凝胶可以自组装形成单分子或多分子的纳米结构.目前研究工作对于设计新型双元有机胶凝剂和软材料提供了新的思路.