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  • 简介:尝试用热化学气相沉积工艺(HFCVD)在铁衬底上合成金刚石。通过喷嘴向铁衬底上喷射源气体,可在大气压下合成金刚石。金刚石晶粒尺寸在180分钟内可生长到约20μm。用本工艺合成的金刚石只含有少量非金刚石碳。同铁衬底的情况一样,喷射源气体也有利于硅片上的金刚石合成。

  • 标签: 热丝化学气相沉积 铁衬底 金刚石 源气体喷射