简介：近日，由江丰电子主持的国家科技重大专项（02专项）“45-28nm配线用超高纯系列溅射靶材开发与产业化”项目顺利通过国家O2专项验收专家组的正式验收。通过该项目的实施，江丰电子在300mm晶片用45-28nm技术节点实现了超高纯金属溅射靶材、高纯Cu-P合金铜阳极产品的量产，并且建成了相关产品的分析检测平台。
江丰电子承担的国家科技重大专项项目通过正式验收
