学科分类
/ 1
1 个结果
  • 简介:<正>沈阳王集团是中国东北的大型民营铁矿生产集团,该公司已开始为微机电系统(MEMS)兴建一家大型晶圆厂。晶圆厂2012年3月动工兴建,位于沈阳以东40英里左右的抚顺。王计划投资30亿元人民币(约4.75亿美元),分三个阶段进行开发。王表示,尽管初期准备安装200毫米晶圆生产设备,但厂房是为满足"300毫米晶

  • 标签: 晶圆厂 MEMS 晶圆生产 微机电系统 辽宁抚顺 后端处理