简介:首先介绍了多晶电阻在线监控和工艺控制模块(PCM)监控的两种方法:四探针法和范德堡法,并解决了四探针法在线监控方法多晶电阻波动大的问题;针对生产过程中遇到的多晶电阻偏小问题,通过扫描电镜分析发现多晶晶粒明显偏大,通过对多晶淀积速率的分析确定多晶速率越小,多晶淀积晶粒越大,根据多晶导电理论可知多晶晶粒大,晶粒间界变小,晶粒间界杂质俘获变少,多晶掺杂浓度转化为载流子的比例变高,因此多晶电阻变小。最后根据工程实践列举了影响多晶淀积速率的两大主要因素为多晶淀积温度和多晶炉管维护次数,为保证多晶淀积速率稳定,多晶炉管维护次数尽量少于6次,同时需要对多晶淀积温度进行控制。
简介:中央空调已经普及,对于机组的监控管理维护的任务也提上日程,现阶段采用的控制系统存在一定局限性,本文提出了一种可行的基于GPRS的远程集中监控管理系统。中央空调机组运行状态的相关数据通过DTU进行协议转换,并传输到已搭建好的云服务器上。云服务器作为GPRS数据中心,完成对数据的存储、中转。远端计算机通过Internet访问云服务器,在已设计好的组态界面处,可以对各地机组进行监控管理。中央空调机组运行状态大数据通过互联网高效便捷地完成采集,经空调厂商相关人员对数据库进行分析后,可针对不同地区机组运行状况的差异提出不同的机组优化方法。同时空调服务商能够远程监控管理机组,大大提高稳定性安全性,参考历史数据更方便了机组的检测维修。为消费者提供更加优质的服务。