简介:研究表明含氟气体的性质决定了原子氟(F)的转化效率,通常在CxFy气体中x的值越大,氟(F)的转化效率也就会越高。所以C3F8(八氟丙烷)比C2F6(乙氟烷)具有更高的利用效率,更少的PFC(全氟化物)的排放。文章主要研究在以四乙氧基硅烷(TOES)为基础的离子增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)的清洗制程中,利用分解效率高的C3F8气体取代C2F6气体。通过实验设计(DesignOfExperiment,DOE),调整腔体压力、射频(RF)功率、气体流量等参数,最终得到最优化的新清洗配方。应用到实际的量产中,有效地降低了成本,减少了PFC的排放。
简介:Inthispaper,wedemonstratetheacetylehe(C2H2)sensorwithhighsensitivityusingahollow-corephotonicbandgapfiber(HC-PCF).ExperimentsformeasuringC2H2concentrationsingasmixtureareperformed.Usinga2m-longHC-PCFasgascell,thespectrumofacetyleneatn1+n3bandhasbeenmeasured,andtheP11-branchhasbeenselectedforthepurposeofsensing.Aminimumdetectivityof143partspermillionbyvolume(ppmv)forthesystemconfigurationisestimated.
简介:ThepreparationofPT/PEK-cfilmsisreportedaswellastheirdielectricandopticalproperties.Thec-axisorientationratioofthefilmsis68%.Dielectricconstantandlossfactorat10kHzisabout4.023F/mand0.003,respectively.Therefractiveindicesofthefilms,neandno,are1.6573and1.6278at0.63μmwavelength,respectively.Theopticalband-gapofthefilmwithathicknessof2.33μmisfoundtobe3.06eV
简介:在2018世界移动大会·上海期间,华为在车联网产业生态峰会上首次对外解读C-V2X(CellularNetworkBasedVehicletoEverything)车联网的战略,并发布首款的商用C-V2X解决方案RSU(路边单元),在推动车联网产业、促进道路数字化的道路上继续迈出坚实的一步。华为公司董事、战略Marketing总裁徐文伟解读了华为在C-V2X车联网产业上的发展战略。徐文伟说:“华为长期以来对车联网坚定投入,聚焦构建连接和ICT基础设施,不做数据变现,不开发和运营应用。华为的定位是做车联网和数字智能大交通的使能者,与客户和伙伴一起打造开放共赢的跨领域车联网生态系统。”