简介：摘要：直流辉光放电等离子体广泛应用于材料表面成分分析及镀层深度分析等领域，等离子体电子密度直接影响离化及激发速率，同时它在放电腔体中的均匀性也与溅射的均匀性有关。为了研究腔体内等离子体的放电特性，本文采用COMSOL Multiphysics仿真软件，基于流体力学方程对辉光放电等离子体的电子密度特性进行仿真研究。研究结果表明，随着电极电流的增加等离子体电子密度整体增高，其轴向电子密度也在升高，且电子密度的均匀性随着电流的增加而变差；等离子体电子密度随着气压的增加而增加，径向电子密度的均匀性随着气压的增加而有轻微改善。研究结果对指导直流辉光等离子体参与材料表面成分分析及镀层深度分析等具有重要意义。
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