简介：芯片制造厂在清洗、蚀刻和沉积工序中大量使用化学药剂和特殊材料气体。为了芯片制造厂的职业健康风险防控，利用计算流体模拟软件Fluent研究芯片制造厂的金属蚀刻反应腔在保养期间HCl的逸出扩散规律。通过模拟给出洁净室内的速度场分布以及HCl浓度场分布规律，按照工作场所有害因素职业接触限值确定划分防控的3级区域——职业接触管制区域、职业限制区域、安全区域，从而为职业防控措施提出建议。
简介：摘要：气力输送技术作为一种高效、低能耗的物料输送方式，在环保领域尤其是散点除尘灰处理中展现出显著优势。本研究旨在深入探讨该技术在除尘灰处理中的应用及其环保效益。论文首先对气力输送技术的基本原理和特点进行了概述，强调其在减少粉尘污染、降低能耗方面的特性。接着，详细分析了气力输送在散点除尘灰处理中的具体应用，包括系统设计、运行参数优化及设备选型等，展示了其在提升处理效率、降低运行成本方面的潜力。
芯片厂蚀刻机台有害气体HCl的逸散数值模拟研究
气力输送在散点除尘灰处理中的环保效益分析
